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[1]李晖.喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计[J].集美大学学报(自然科学版),2011,16(3):212-217.
　LI Hui.Mass Transport Analysis and Structure Design of Showerhead MOCVD Reactor[J].Journal of Jimei University,2011,16(3):212-217.
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喷淋式MOCVD反应器的传质分析及结构设计(PDF)
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《集美大学学报（自然科学版）》[ISSN:1007-7405/CN:35-1186/N]

卷:
第16卷
期数:
2011年第3期
页码:
212-217
栏目:
船舶与机械工程
出版日期:
2011-05-25

文章信息/Info

Title:
Mass Transport Analysis and Structure Design of Showerhead MOCVD Reactor
作者:
李晖1; 2
(1.集美大学机械工程学院,福建 厦门 361021;2.江苏大学能源与动力工程学院,江苏 镇江 212013)
Author(s):
LI Hui1; 2
(1.School of Mechanical Engineering,Jimei University,Xiamen 361021,China2.School of Energy and Power Engineering,Jiangsu University,Zhenjiang 212013,China)
关键词:
喷淋式MOCVD反应器; 传质; 数理分析; 结构设计
Keywords:
showerhead MOCVD reactor; mass transport; mathematical analysis; structure design
分类号:
-
DOI:
-
文献标志码:
-
摘要:
对喷淋式MOCVD反应器中的传质过程进行了数理分析，并提出了该类型反应器的结构设计原则.数理分析显示，基片上方各点的轴向速度仅是垂直距离的函数，与径向距离无关；顶壁高度对反应室内的传质有重要影响.设计喷淋式反应器结构时，应重点考虑顶壁高度和反应室半径的选取、基片加热方式以及喷淋头结构的柔性设计
Abstract:
The mass transport process in showerhead MOCVD reactor was mathematically analyzed,and the design principles of the reactor were suggested.The mathematical analysis showed that,the vertical component velocity of a point over the substrate was only dependent of vertical distance and independent of radial distance.The ceiling height of the reactor had important effects on the mass transport process.When designing a MOCVD showerhead reactor,more attention should be paid to ceiling height,chamber radius,heating method of the substrate and flexibility of showerhead structure

参考文献/References:

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相似文献/References:

备注/Memo

备注/Memo:
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更新日期/Last Update: 2018-06-11